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槽位邊角
寬度方向
長度方向
設備參數(shù)
清洗效率
<1.20 s/ea
單工位效率
>15 PPM
熱影響區(qū)
<100 μm
起皺程度
無明顯起皺
破損程度
無破損
殘留
≤0.1 mm
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